摘要：光譜光源是光譜儀器和光譜技術的核心,等離子體光源是原子發(fā)射光譜技術的活躍領域之一,電感耦合等離子體(ICP)已成功地應用于原子發(fā)射光譜和無機質譜儀器。由于ICP光源采用氬氣作為工作氣體,耗量較大,降低氬氣用量成為近些年來原子光譜技術研究和改進的重要目標。為此目的,已研究過各種低耗氬ICP光源,非氬氣ICP光源,微波等離子體光源,射頻電容耦合等離子體光源等。綜述了近年這些等離子體發(fā)射光源的結構,分析性能及特點,以及它們所用工作氣體情況。并歸納總結出,評價各種等離子體發(fā)射光譜光源應包括:等離子體溫度(激發(fā)溫度,氣體溫度),電子密度,工作氣體種類及用量,元素檢出限,光源的穩(wěn)健性及經濟方面等。