摘要：針對線距標(biāo)準(zhǔn)樣片線間距的測量需求,基于關(guān)鍵尺寸掃描電鏡(CD-SEM),提出了一種寬度測量方法。首先,介紹了CD-SEM測量系統(tǒng)的基本原理;其次,使用CD-SEM對VLSI生產(chǎn)的標(biāo)稱尺寸為100 nm、3μm、10μm的線距標(biāo)準(zhǔn)樣片進(jìn)行了測量;最后,對測量不確定度進(jìn)行評定,并將測量結(jié)果與VLSI標(biāo)準(zhǔn)樣片證書給出的標(biāo)準(zhǔn)值進(jìn)行比對。結(jié)果表明:En值最大為-0.7,CDSEM測量線間距的準(zhǔn)確度很高。