摘要:制備了一種中心波長(zhǎng)為852nm的內(nèi)腔液晶可調(diào)諧垂直腔面發(fā)射激光器結(jié)構(gòu)。研究了不加調(diào)諧電壓時(shí)可調(diào)諧VCSEL的電流-電壓-光功率關(guān)系,注入電流為10mA時(shí),得到了器件的最大輸出功率為2.3mW。結(jié)果表明,內(nèi)腔液晶可調(diào)諧垂直腔面發(fā)射激光器的波長(zhǎng)調(diào)諧范圍達(dá)到27nm,調(diào)諧效率為9nm/V。
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